Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Description
Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.
Keywords
Technology & EngineeringElectronicsNanotechnology & MEMSElectrical
1999Book
Author(s)Manfred Kasper
PublisherSpringer Berlin Heidelberg
ISBN9783540664970
LanguageGerman
