Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs
Untersuchungen an Kanal-Elektronen-Vervielfachern
Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse
Halbleiter-Technologie
Ion Implantation: Basics to Device Fabrication
Ionen-Extraktion aus Gasentladungsplasmen Dynamische Sonde zur Ionen-Extraktion
Ionenimplantation
Grundlagen der Halbleiter-Elektronik
Silizium-Planartechnologie Grundprozesse, Physik und Bauelemente