Technologie hochintegrierter Schaltungen

Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunAchst sehr ausfA1/4hrlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, A"tz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele fA1/4r die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die ProzeAintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Aoebersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen A1/4ber den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. DarA1/4ber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich fA1/4hren, werden ebenfalls beschrieben.