Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

In zunehmendem Maße wird die Verwendungsmöglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflächen bestimmt. Darüber hinaus werden durch ge­ eignete Kombination von Volumen-und Oberflächeneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dünner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer größer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise läßt sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrößern. Die Korrosionsbeständigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver­ wendung dünner Passivierungsschichten erhöht werden. Die Miniaturisierung von in­ tegrierten Schaltungen wäre ohne die Entwicklung der Dünnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dünnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus­ sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflächen und Grenzflächen sowie der Zusammen­ setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden können, voraus. Es muß ferner ihre Herstellung oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina­ tionen zu vermeiden.