Adaptive Optik und Sensorik im Strahlführungssystem von Laserbearbeitungsanlagen

6 Zusammenfassung und Ausblick Mit Hilfe eines Programms, das das Fresnel-Kirchhoffsche-lntegral numerisch löst, wur- den Beugungseffekte berechnet, die in einem Strahlführungssystem auftreten können. Da- bei wurden die Intensitätsschwankungen im Freistrahl und im Fokusstrahlengang unter- sucht. Ergänzend zu bisherigen Ergebnissen zeigt sich, daß die Intensitätsschwankungen im Fokusstrahlengang wesentlich größer als im Freistrahl sind. Diese Schwankungen kön- nen die Ursache für unterschiedliche Bearbeitungsergebnisse sein, die beim Verfahren ei- ner "fliegenden Optik" auftreten. Die Ergebnisse zeigen deutlich, daß eine sorgfältige Aus- legung des Strahlführungssystems notwendig ist (Kap. 3.6). Gleichzeitig machen die Ergebnisse klar, daß bei veränderlichen Strahlwegen eine Adap- tion des Laserstrahls an den jeweiligen Strahlweg im Strahlführungssystem sinnvoll ist. Ein solche Adaption kann mit einem geregelten Strahlführungssystem, das aus einem Strahlsensor, einem adaptiven Spiegel und einer Regelelektronik besteht, erfolgen. Mit den Laboruntersuchungen (Kap. 4) wurde die prinzipielle Funktionstüchtigkeit eines geregelten Strahlführungssystems unter Beweis gestellt. Derzeitiger Stand der Entwick- lung ist die Realisierung von industriell einsetzbaren Prototypen (Sensor, adaptiver Spie- gel, Kap. 5). Damit ist die Grundlage geschaffen, um weitergehende Untersuchungen eines geregelten Strahlführungssystems im Einsatz in der Lasermaterialbearbeitung durchzufüh- ren. Der nächste Schritt ist die Integration in eine Anlage und der Betrieb unter Industriebedin- gungen. Zu untersuchen ist dabei der Einfluß von verschiedenen Moden auf die Zuverläs- sigkeit des Systems. Da der Strahl immer unter Fernfeldbedingungen untersucht wird (der Meßstrahl wird durch die erste Linse fokussiert), dürften Intensitätsschwankungen im Nah- feld die Messungen nicht beeinflussen. So ist das Verfahren auch für Laserstrahlen an- wendbar, die in instabilen Resonatoren erzeugt werden.